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レーザリペア装置を新しくしました

エッチング行程の後に、レーザでパターンの修正(リペア)を行うことがあります。

それに使われるレーザリペア装置を新しくしました

今までは1064nmのYAGレーザを使用した装置でしたが、

今回、532nmのレーザを使用した装置を導入しました。使い勝手はどんなもんでしょうか。楽しみです。

そのうち写真も撮って載せます

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