高アスペクト比のレジストパターン

高アスペクト比レジストでハニカム形状のパターニングを行いました。

ハニカムのリブ部がレジストとなっており、250μの膜厚があります。

リブ幅が42.59μmなので、アスペクト比で「5(超)」、ということになります。

厚膜レジストでハニカム

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