シリコンウエハの異方性エッチング

シリコンウエハのウェットエッチングには、異方性(一定方向に掘り進める)という、

壁面の形状を平面にする技術があります。

この技術はシリコンの結晶構造を利用したものなのですが、

じゃあ、円形などのパターンをしたらどうなるのか? という好奇心から、

各種チャートパターンをしてみました。 …やはり異方性には、なりませんでした 

どんな形状になったかは、後日写真撮って載せます 

シリコンウエハ異方性エッチング

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