ドライフィルムレジスト

レジストには、液状のものとフィルム状のものがあります。

フィルム状のレジストはドライフィルム(DF)レジストといい、

レジストを厚く均等にできる利点があります。

写真の、紫色の部分がレジストです。下地には銅(Cu)を付けました。

今回、35μmの厚さのDFレジストを使用し、線幅18.48μmがきれいにパターンできました。

結構なアスペクト比が出せました

DFR35μm

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