高アスペクト比レジスト

変わりダネのレジストパターンとしては、高アスペクト比レジストもはずせません。

厚みを持つレジスト、高アスペクト比レジストでドットをパターニンングしました。
レジストパターン
ただし、この3D画像は高さ方向に強調されています。ご了承ください。

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