FC2ブログ

ドライエッチング

この度、シリコン窒化膜(SiN)のエッチングができましたー

というのも、SiN膜はウェットではエッチングできないのです。

今回、ドライエッチング技術の1つであるRIE(反応性イオンエッチング)

に挑戦してみました。ひとまずパターニングはです。

写真の青い部分がSiN膜で、白い部分は下地のシリコン基板です。

今後は、Al(アルミ)パターンとの組合せなども視野に入れ、検証していきます。

基板サイズは、φ8”まで対応可能です♪

RIEでエッチング

テーマ : 商品情報
ジャンル : ブログ

ガラスの棒にパターン

ガラスの棒の続編です。

蒸着した銅(だったかな…。確認しておきます。)をエッチングしました。

レジストパターン部のみを残して、ガラス部分が取り除かれ、

スパイラルパターンが現れましたー。
スパイラルパターンエッチング後

テーマ : 商品情報
ジャンル : ブログ

ガラスの棒

立体物へのパターニングサンプルを作ってみます。

今度は円柱に挑戦です。直径2mmのガラス管を用意しました。

材料のガラス管

テーマ : お知らせ
ジャンル : ブログ

電着レジストそのもの

電着レジストで角の部分にも金属薄膜のパターンが施せる、というのは、

つまり角にもレジストがくっついてくれるからです。

この写真では、レジストが角をしっかりカバーしているのがわかります。

この後、カバーされていない部分の金属膜をエッチングします。
電着レジストがついてます。

テーマ : 商品情報
ジャンル : ブログ

スルーホールで両面導通

ガラスの裏表にそれぞれメタルパターンを作り、

貫通穴で導通をとりました。黒い●の部分が穴です。

手前のパターンがぼけて写ってます。基板厚さの分ピントがずれちゃいました。
穴の内壁を電気が通ります。

テーマ : 商品情報
ジャンル : ブログ

プロフィール

お知らせ係

Author:お知らせ係
フォトプレシジョンでの
試作結果報告です。
好奇心と探究心で
日々チャレンジしております。

最新記事
最新コメント
リンク
検索フォーム
FC2カウンター