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銅で壁を立てる

銅で壁
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ガラスの側面にパターン

ガラスの側面にもパターニングできます。

この円柱状のガラスは、φ10mm×5mmtです。

パターンの数字はラインの線幅です。単位はμm。

ガラス側面

貫通穴の内側に成膜

貫通穴に成膜
貫通穴の内側に金属を成膜できると、

穴を通して表裏の導通が取れます。

角柱ガラスにパターン

角柱ガラス
最近、技術雑誌の表紙になりました。

立体形状の材料にパターニングする技術です。

電着レジストを使用します。

高アスペクト比のレジストパターン

高アスペクト比レジストでハニカム形状のパターニングを行いました。

ハニカムのリブ部がレジストとなっており、250μの膜厚があります。

リブ幅が42.59μmなので、アスペクト比で「5(超)」、ということになります。

厚膜レジストでハニカム
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